潔凈室以及潔凈室微塵檢測
????潔凈室(Clean Room) 是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內??,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照慣例,無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了無(wú)塵標準的*。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?,這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。
潔凈室狀態(tài)分為以下三種:
態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設施內沒(méi)有操作人員操作的設備。
靜態(tài):各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內沒(méi)有操作人員。
動(dòng)態(tài):處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
控管項目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3、溫度和濕度之控制。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之氣密性。
7、靜電之防制。
8、電磁干擾預防。
9、安全因素之考慮。
10、節能之考量。
潔凈室之構成
1.工業(yè)潔凈室
以無(wú)生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
2.生物潔凈室
主要控制有生命微粒(細菌)與無(wú)生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物潔凈室:主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時(shí)其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:制藥工業(yè)、醫院(手術(shù)室、無(wú)菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)
潔凈室污染知識
1、發(fā)塵量
潔凈室內的發(fā)塵量,來(lái)自設備的可考慮通過(guò)局部排風(fēng)排除,不流入室內;產(chǎn)品,材料等在運送過(guò)程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比,一般極小,可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應用來(lái)自建筑表面的發(fā)塵也很少,一般占10%以下,發(fā)塵主要來(lái)自人,占90%左右。在人的發(fā)塵量上,由于服裝材料和樣式的改進(jìn),發(fā)塵量也不斷減少。
A、材質(zhì):棉質(zhì)發(fā)塵量zui大,以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式:大掛式發(fā)塵量zui大,上下分裝型次之,全罩型zui少;
C、活動(dòng):動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達到靜止時(shí)間3-7倍;
D、清洗:用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內維護結構表面發(fā)塵量,以地面為準,大約相應8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當。
2、發(fā)菌量
工作人員產(chǎn)生的污染:
1)皮膚:人類(lèi)通常每四天完成一次皮膚的*脫換,人類(lèi)每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為30*60*3微米)
2)頭發(fā):人類(lèi)的頭發(fā)(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
3)口水:包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細菌。
5)人類(lèi)靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6)人類(lèi)在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
7)人類(lèi)以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
潔凈室標準規范
1.國內標準規范
(1).潔凈廠(chǎng)房設計規范 GB50073-2001[1]
(2).醫院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規范GB50333-2002
(3).醫藥工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范GB 50457-2008
(4).傳染病醫院建筑設計規范
(5).醫藥工業(yè)潔凈室(區)懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
(6).QS認證質(zhì)量手冊
(7).GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規范
行業(yè)應用
凈化工程是一個(gè)應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產(chǎn)業(yè),目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應用,并根據行業(yè)的精密與無(wú)塵要求,等級差別也較大。
目前級別zui高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領(lǐng)域,面積相對較小。
另外對級別要求較高的是生化實(shí)驗室和高精納米材料生產(chǎn)車(chē)間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來(lái)需求的一大方向。
潔凈室微塵檢測
粒子計數器
粒子計數器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的儀器,由顯微鏡發(fā)展而來(lái),經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、PCS納米激光空氣粒子計數器的過(guò)程,其中因激光空氣粒子計數器測試速度快、動(dòng)態(tài)分布寬、不受人為影響等各方面的優(yōu)勢,而成為近年來(lái)很多行業(yè)的主流產(chǎn)品。
不同標準的分類(lèi)
1、按測試原理:光散亂法測試(白光、激光)、顯微鏡法測試、稱(chēng)重法測試、DMA法測試(粒徑分析儀)、慣性法測試、擴散法測試、凝聚核法測試(CNC)等。
2、按流量:小流量 0.1cfm(2.83L/min) 大流量 1cfm(28.3L/min)
3、按形狀、體積大?。菏殖质?、臺式
4、按測試通道:?jiǎn)瓮ǖ溃ㄖ粶y某一種粒子徑);雙通道(測試某兩種粒子徑);多通道(測試多種粒子徑)
5、其他:粒子計數器的應用領(lǐng)域
空氣中的微粒在光的照射下會(huì )發(fā)生散射,這種現象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長(cháng)、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強度和微粒大小而言,有一個(gè)基本規律,就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小,就是光散射式粒子計數器的基本原理。實(shí)際上,每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱,是一個(gè)很小的光脈沖,需要通過(guò)光電轉換器的放大作用,把光脈沖轉化為信號幅度較大的電脈沖,然后再經(jīng)過(guò)電子線(xiàn)路的進(jìn)一步放大和甄別,從而完成對大量電脈沖的計數工作。此時(shí),電脈沖數量對應于微粒的個(gè)數,電脈沖的幅度對應于微粒的大小。
LUYOR-365無(wú)塵室表面微粒檢測儀,產(chǎn)品表面落塵檢測儀
無(wú)塵室表面微粒檢測儀,產(chǎn)品表面落塵檢測儀主要由紫外線(xiàn)的照射,可檢測出帶有熒光的物質(zhì)。尤其對容易因靜電吸附難以清除的物質(zhì)(如纖維)具有的辯認效果。(若能降低環(huán)境光度,辯認效果更佳,可辯認到1微米/um的塵埃)。 一般無(wú)塵室所普遍使用的Particle counter或是落塵監控設備只能檢測出環(huán)境落塵質(zhì)量,不能檢測Particle落于何處。透過(guò)紫光微粒檢測儀照射產(chǎn)生的把反差效果,能輕易看到微小肉眼難以辯論的落塵。
輕量化的設計,內建充電式鋰電池,配置可提式保管箱,適合攜帶使用。
LUYOR-365紫光微粒檢測儀典型應用
無(wú)塵室設備及產(chǎn)品Particle清潔檢查
無(wú)塵室地面清潔檢查
曝光機柜框Particle清潔檢查
壓合鋼板清Particle潔檢查
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